• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Non-destructive depth profiling of silicon ion implantation induced damage in silicon (100) substrates
  • Beteiligte: Lynch, S.; Murtagh, M.; Crean, G.M.; Kelly, P.V.; O'Connor, M.; Jeynes, C.
  • Erschienen: Elsevier BV, 1993
  • Erschienen in: Thin Solid Films
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1016/0040-6090(93)90089-8
  • ISSN: 0040-6090
  • Schlagwörter: Materials Chemistry ; Metals and Alloys ; Surfaces, Coatings and Films ; Surfaces and Interfaces ; Electronic, Optical and Magnetic Materials
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