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Medientyp: E-Artikel Titel: On-line detection and monitoring of plasma etch damage to semi-insulating GaAs Beteiligte: Herbert, P.A.F.; Murtagh, M.; Kelly, P.V.; Crean, G.M.; Kelly, W.M. Erschienen: Elsevier BV, 1993 Erschienen in: Microelectronic Engineering Sprache: Englisch DOI: 10.1016/0167-9317(93)90081-f ISSN: 0167-9317 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics ; Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: