• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Fabrication of high-aspect ratio SU-8 micropillar arrays
  • Beteiligte: Amato, Letizia; Keller, Stephan S.; Heiskanen, Arto; Dimaki, Maria; Emnéus, Jenny; Boisen, Anja; Tenje, Maria
  • Erschienen: Elsevier BV, 2012
  • Erschienen in: Microelectronic Engineering, 98 (2012), Seite 483-487
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1016/j.mee.2012.07.092
  • ISSN: 0167-9317
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