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Medientyp: E-Artikel Titel: Fabrication of high-aspect ratio SU-8 micropillar arrays Beteiligte: Amato, Letizia; Keller, Stephan S.; Heiskanen, Arto; Dimaki, Maria; Emnéus, Jenny; Boisen, Anja; Tenje, Maria Erschienen: Elsevier BV, 2012 Erschienen in: Microelectronic Engineering, 98 (2012), Seite 483-487 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.mee.2012.07.092 ISSN: 0167-9317 Entstehung: Anmerkungen: