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Medientyp: E-Artikel Titel: Zirconia based functional sol–gel resist for UV and high resolution lithography Beteiligte: Della Giustina, Gioia; Garoli, Denis; Romanato, Filippo; Brusatin, Giovanna Erschienen: Elsevier BV, 2013 Erschienen in: Microelectronic Engineering, 110 (2013), Seite 436-440 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.mee.2013.03.054 ISSN: 0167-9317 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics ; Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: