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Medientyp: E-Artikel Titel: A Compact CMOS Compatible micro-Pirani Vacuum Sensor with Wide Operating Range and Low Power Consumption Beteiligte: Piotto, Massimo; Del Cesta, Simone; Bruschi, Paolo Erschienen: Elsevier BV, 2016 Erschienen in: Procedia Engineering, 168 (2016), Seite 766-769 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.proeng.2016.11.275 ISSN: 1877-7058 Schlagwörter: Industrial and Manufacturing Engineering Entstehung: Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang