• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: A Compact CMOS Compatible micro-Pirani Vacuum Sensor with Wide Operating Range and Low Power Consumption
  • Beteiligte: Piotto, Massimo; Del Cesta, Simone; Bruschi, Paolo
  • Erschienen: Elsevier BV, 2016
  • Erschienen in: Procedia Engineering, 168 (2016), Seite 766-769
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1016/j.proeng.2016.11.275
  • ISSN: 1877-7058
  • Schlagwörter: Industrial and Manufacturing Engineering
  • Entstehung:
  • Anmerkungen:
  • Zugangsstatus: Freier Zugang