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Medientyp: E-Artikel Titel: Dynamic simulation of an electrostatic micropump with pull-in and hysteresis phenomena Beteiligte: Français, Olivier; Dufour, Isabelle Erschienen: Elsevier BV, 1998 Erschienen in: Sensors and Actuators A: Physical Sprache: Englisch DOI: 10.1016/s0924-4247(98)00112-5 ISSN: 0924-4247 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Metals and Alloys ; Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics ; Instrumentation ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: