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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Materials design and development of fluoropolymers for use as pellicles in 157-nm photolithography Beteiligte: French, Roger H.; Gordon, Joseph S.; Jones, David J.; Lemon, M. F.; Wheland, Robert C.; Zhang, Xun; Zumsteg, Jr., Fredrick C.; Sharp, Kenneth G.; Qiu, Weiming Erschienen: SPIE, 2001 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.435710 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: