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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Progress toward developing high performance immersion compatible materials and processes Beteiligte: Petrillo, Karen; Patel, Kaushal; Chen, Rex; Li, Wenjie; Kwong, Ranee; Lawson, Peggy; Varanasi, Rao; Robinson, Chris; Holmes, Steven J.; Gil, Dario; Kimmel, Kurt; Slezak, Mark; Dabbagh, Gary; Chiba, Takashi; Shimokawa, Tsutomu Erschienen: SPIE, 2005 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.601621 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: