• Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht
  • Titel: Progress toward developing high performance immersion compatible materials and processes
  • Beteiligte: Petrillo, Karen; Patel, Kaushal; Chen, Rex; Li, Wenjie; Kwong, Ranee; Lawson, Peggy; Varanasi, Rao; Robinson, Chris; Holmes, Steven J.; Gil, Dario; Kimmel, Kurt; Slezak, Mark; Dabbagh, Gary; Chiba, Takashi; Shimokawa, Tsutomu
  • Erschienen: SPIE, 2005
  • Erschienen in: SPIE Proceedings
  • Umfang:
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1117/12.601621
  • ISSN: 0277-786X
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: