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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Development of a tilt actuated micromirror for applications in laser interferometry Beteiligte: Kronast, Wolfgang; Mescheder, Ulrich; Müller, Bernhard; Nimo, Antwi; Braxmaier, Claus; Schuldt, Thilo Erschienen: SPIE, 2010 Erschienen in: SPIE Proceedings, 7594 (2010), Seite 75940O Umfang: 75940O Sprache: Ohne Angabe DOI: 10.1117/12.839577 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: