> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Comparison of star and linear ArF resists Beteiligte: Forman, Drew C.; Wieberger, Florian; Gröschel, Andre; Müller, Axel H. E.; Schmidt, Hans-Werner; Ober, Christopher K. Erschienen: SPIE, 2010 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.848344 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: