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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Lithography-induced limits to scaling of design quality Beteiligte: Kahng, Andrew B. Erschienen: SPIE, 2014 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.2047391 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: