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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Atomic layer deposition of Al2O3on NF3-pre-treated graphene Beteiligte: Junige, Marcel; Oddoy, Tim; Yakimova, Rositsa; Darakchieva, Vanya; Wenger, Christian; Lupina, Grzegorz; Kitzmann, Julia; Albert, Matthias; Bartha, Johann W. Erschienen: SPIE, 2015 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.2181242 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: