> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Atomic layer deposition of Al2O3on NF3-pre-treated graphene Beteiligte: Junige, Marcel; Oddoy, Tim; Yakimova, Rositsa; Darakchieva, Vanya; Wenger, Christian; Lupina, Grzegorz; Kitzmann, Julia; Albert, Matthias; Bartha, Johann W. Erschienen: SPIE, 2015 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.2181242 Entstehung: Anmerkungen: