Moscatelli, Francesco;
Scorzoni, Andrea;
Poggi, Antonella;
Canino, Mariaconcetta;
Nipoti, Roberta
Materials Science Forum: Ni-Silicide Contacts to 6H-SiC: Contact Resistivity and Barrier Height on Ion Implanted n-Type and Barrier Height on p-Type Epilayer
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Medientyp:
E-Artikel
Titel:
Materials Science Forum: Ni-Silicide Contacts to 6H-SiC: Contact Resistivity and Barrier Height on Ion Implanted n-Type and Barrier Height on p-Type Epilayer