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Medientyp: E-Artikel Titel: A MEMS tilt sensor with expanded operating range and improved sensitivity Beteiligte: Choi, Young Chan; Choi, Ju Chan; Kong, Seong Ho Erschienen: IOP Publishing, 2014 Erschienen in: Japanese Journal of Applied Physics, 53 (2014) 6S, Seite 06JM12 Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.7567/jjap.53.06jm12 ISSN: 0021-4922; 1347-4065 Schlagwörter: General Physics and Astronomy ; Physics and Astronomy (miscellaneous) ; General Engineering Entstehung: Anmerkungen: