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Medientyp: E-Book; Konferenzbericht Titel: Novel Patterning Technologies 2021 : 22-26 February 2021, online only, Unites States Beteiligte: Panning, Eric M. [HerausgeberIn] Körperschaft: SPIE Erschienen: Bellingham, Washington, USA: SPIE, [2021] Erschienen in: SPIE: Proceedings of SPIE ; 11610 Umfang: 1 Online-Ressource; Illustrationen Sprache: Englisch ISBN: 9781510640542 Schlagwörter: Konferenzschrift Entstehung: Anmerkungen: Teilkonferenz von SPIE Advanced Lithography 2021 Enthält teilweise Vorträge in Form von Videos (Präsentationsfolien), teilweise ausgearbeitete Vorträge Literaturangaben