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  1. Wunderlich, Silja [VerfasserIn] ; Müller, Jörg [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Eich, Manfred [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Technische Universität Hamburg-Harburg Arbeitsbereich Halbleitertechnologie

    Untersuchungen zum CO2-Lasertempern von SiON-Dünnschichten für Anwendungen in der integrierten Optik - [Als Ms. gedr.]

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    Düsseldorf: VDI Verl., 1997

    Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 50000

  6. Illgen, Ralf [VerfasserIn] ; Gerlach, Gerald [AkademischeR BetreuerIn]; Stenzel, Roland [AkademischeR BetreuerIn]

    Neuartige Ausheilverfahren in der SOI-CMOSFET-Technologie

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    Dresden: Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden; Dresden: Technische Universität Dresden, 2011