Untersuchungen zum CO2-Lasertempern von SiON-Dünnschichten für Anwendungen in der integrierten Optik

Medientyp: Buch; Hochschulschrift
Titel: Untersuchungen zum CO2-Lasertempern von SiON-Dünnschichten für Anwendungen in der integrierten Optik
Weitere Titel: Nebent.: Lasertempern von SiON-Dünnschichten
Beteiligte: Wunderlich, Silja [Verfasser:in]; Müller, Jörg [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Eich, Manfred [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]
Körperschaft: Technische Universität Hamburg-Harburg, Arbeitsbereich Halbleitertechnologie
Erschienen: Düsseldorf: VDI Verl., 1997
Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 50000
Ausgabe: Als Ms. gedr.
Umfang: VII, 168 S; graph. Darst
Sprache: Deutsch
ISBN: 3183500051
Schlagwörter: Siliciumoxinitride > Dünne Schicht > Lasertempern > Kohlendioxidlaser > Integriert-optisches Bauelement
Entstehung:
Hochschulschrift: Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Arbeitsbereich Halbleitertechnologie, Diss. , 1997
Anmerkungen:
Weitere Bestandsnachweise
0 : Fortschrittberichte VDI / 5

Untersuchungen zum CO2-Lasertempern von SiON-Dünnschichten für Anwendungen in der integrierten Optik - [Als Ms. gedr.]