Zum Inhalt springen Wächtler, Thomas [VerfasserIn] Thin films of Copper oxide and Copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz, 2010 Wächtler, Thomas [VerfasserIn] Thin films of Copper oxide and Copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices = Dünne Schichten von Kupferoxid und Kupfer hergestellt mittels Atomlagenabscheidung zur Anwendung in Metallisierungssystemen mikroelektronischer Bauelemente Bücher Online ansehen Schließen > Zugang http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2010/0072 Zeige weitere weniger zeigen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz, 2010 Wächtler, Thomas [VerfasserIn] Thin films of copper oxide and copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices = Dünne Schichten von Kupferoxid und Kupfer hergestellt mittels Atomlagenabscheidung zur Anwendung in Metallisierungssystemen mikroelektronischer Bauelemente Bücher Online ansehen Schließen > Zugang https://d-nb.info/1005857970/34 kostenfrei Zeige weitere weniger zeigen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
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