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Medientyp:
E-Book;
Hochschulschrift
Titel:
Thin films of copper oxide and copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices
Weitere Titel:
Dünne Schichten von Kupferoxid und Kupfer hergestellt mittels Atomlagenabscheidung zur Anwendung in Metallisierungssystemen mikroelektronischer Bauelemente