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  1. Carrella, Marina [VerfasserIn] ; Technische Universität Kaiserslautern, Technische Universität Kaiserslautern

    Zerspanungsmechanismen beim Mikroschleifen von einkristallinem Silizium - [Als Manuskript gedruckt]

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    Kaiserslautern: Technische Universität Kaiserslautern, 2016

    Erschienen in: Technische Universität Kaiserslautern: Produktionstechnische Berichte aus dem FBK ; 2016,3

  2. Engel, Hendrik [VerfasserIn]

    Läppen von einkristallinem Silicium

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    Berlin: IPK, 1997

    Erschienen in: Berichte aus dem Produktionstechnischen Zentrum Berlin

  3. Feng, Zhe Chuan [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Feng, Zhe Chuan [HerausgeberIn]

    Porous silicon

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    Singapore; [u.a.]: World Scientific, c1994

  4. O'Mara, William C. [HerausgeberIn]

    Handbook of semiconductor silicon technology

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    Park Ridge, NJ: Noyes, 1990

    Erschienen in: Materials science and process technology series