Kohl, Manfred (4)
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Grund, Thomas (3)
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Kohl, M. (3)
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Schomburg, Werner Karl (3)
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Barth, Johannes (2)
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Dannenberg, Arne Simon (2)
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Eggert, H. (2)
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Ehrfeld, Wolfgang (2)
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Fu, Chien-Chung (2)
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Goettsche, Thorsten (2)
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Goll, Claudia (2)
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Institut für Mikrostrukturtechnik (2)
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Kowanz, Bernd (2)
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Liu, Yong (2)
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Meinzer, S. (2)
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Quinte, A. (2)
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Süss, W. (2)
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Tabeling, Patrick (2)
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Technische Universität Dresden (2)
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Waibel, Günther (2)
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Zengerle, Roland (2)
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Albert-Ludwigs-Universität Freiburg (1)
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Bacher, Walter (1)
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Balck, Anne (1)
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Brammer, Marko (1)
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Busek, Mathias (1)
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Chen, Suelin (1)
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Dütsch, Heribert Ludwig (1)
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Fahrenberg, Jens (1)
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Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (1)
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Flittner, Klaus (1)
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Hagena, Otto-Friedrich (1)
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Hanitsch, Stefan (1)
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Hoffmann, Martin (1)
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Häfner, Sebastian (1)
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Institut für Mikrosystemtechnik (1)
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Jakob, W. (1)
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Kaiser, Stefan C. (1)
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Kunze, Ulrich (1)
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Liu, Y. (1)
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Maas, D. (1)
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Marschner, Uwe (1)
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Megnin, Christof (1)
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Menz, Wolfgang (1)
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Neumann, Christiane (1)
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Nissen, Volker (1)
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Richter, Andreas (1)
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Rogge, Tilmann (1)
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Rummler, Z. (1)
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Rummler, Zeno (1)
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Saile, V. (1)
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Schlaak, Helmut F. (1)
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Schomburg, W. K. (1)
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Schomburg, Werner K. (1)
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Seelecke, Stefan (1)
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Skrobanek, Klaus Dietmar (1)
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Ströhla, Tom (1)
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Technische Fakultät (1)
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Technische Universität Ilmenau Fakultät für Maschinenbau (1)
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Truckenmueller, R. (1)
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Ulrich, Jörg (1)
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Urban, Gerald A. (1)
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Voigt, Andreas (1)
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Wilhelm, Elisabeth (1)
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Wolke, Dietmar (1)
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