• Medientyp: Buch
  • Titel: Introduction to microsystem design
  • Beteiligte: Schomburg, Werner Karl [Verfasser:in]
  • Erschienen: Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2011
  • Erschienen in: RWTHedition
  • Umfang: XX, 319 S.; Ill., graph. Darst; 235 mm x 155 mm
  • Sprache: Englisch
  • ISBN: 9783642194887; 3642194885
  • Verlags-, Produktions- oder Bestellnummern: Sonstige Nummer: 80032515
  • RVK-Notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik
  • Schlagwörter: Mikrosystemtechnik > Systementwurf
    Mikrofluidik > Mikropumpe > Mikroventil > Mikrooptik > Mikroaktor > Piezoelektrizität > Dünne Schicht
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: Literaturverz. S. 311 - 314

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  • Signatur: R2024 8 753
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