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  2. Waldschik, Andreas [VerfasserIn] ; Büttgenbach, Stephanus [AkademischeR BetreuerIn]

    Elektromagnetische Mikroaktoren - Konzepte, Herstellung, Charakterisierung und Anwendungen

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    Braunschweig: Technische Universität Braunschweig, 2010

    Erschienen in: Publications Institute of Microtechnology IMT ; 28

  3. Gauch, Melanie [VerfasserIn]

    Ionenstrahlzerstäubte Materialmischungen zur Herstellung von spannungsfreien, optischen Schichtsystemen auf flexiblen (PMMA-) Substraten - [published Version]

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    Hannover : Institutionelles Repositorium der Leibniz Universität Hannover, 2018

  4. Krujatz, Jörg [VerfasserIn] ; Gessner, Thomas [GutachterIn]; Richter, Frank [GutachterIn]; Fendler, Reinhard [GutachterIn] Technische Universität Chemnitz

    Herstellung von Spiegelschichtsystemen auf der Basis von Aluminium und Silber für den Einsatz in der Mikrosystemtechnik

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    [2003]

  5. Grochla, Darius G. [VerfasserIn] ; Ludwig, Alfred [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Awakowicz, Peter [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Entwicklung und Anwendung von kombinatorischen Methoden und Mikrosensoren zur Messung mechanischer Schichtspannungen und der Schichttemperatur bei reaktiven Plasmabeschichtungsprozessen

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    Bochum: Ruhr-Universität Bochum, 2016

  6. Reuter, Danny [VerfasserIn] ; Geßner, Thomas [AkademischeR BetreuerIn]; Mehner, Jan [GutachterIn]; Seidel, Helmut [GutachterIn] Technische Universität Chemnitz

    Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen

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    [2008]

  7. Hübner, W.

    Berechnung der Schichtspannungen in ausgemauerten stählernen Gefäßen. Von W. Füller. Monographie Nr. 81 zu “Angewandte Chemie” und “Chemie‐Ingenieur‐Technik”. Verlag Chemie GmbH., Weinheim/Bergstr. 1964. 1. Auflage, VIII, 120 S., 42 Abb., 8 Tab., Kart. DM 26,–

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    Wiley, 1965

    Erschienen in: Materials and Corrosion