Grochla, Darius G.
[VerfasserIn]
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Ludwig, Alfred
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft];
Awakowicz, Peter
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft]
Entwicklung und Anwendung von kombinatorischen Methoden und Mikrosensoren zur Messung mechanischer Schichtspannungen und der Schichttemperatur bei reaktiven Plasmabeschichtungsprozessen
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Medientyp:
E-Book;
Hochschulschrift
Titel:
Entwicklung und Anwendung von kombinatorischen Methoden und Mikrosensoren zur Messung mechanischer Schichtspannungen und der Schichttemperatur bei reaktiven Plasmabeschichtungsprozessen