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  1. Strahm, B.; Feltrin, A.; Bugnon, G.; Meillaud-Sculati, F.; Ballif, C.; Howling, A. A.; Hollenstein, Ch.

    Study of the microstructure transition width from amorphous to microcrystalline silicon as a function of the input silane concentration

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    SPIE, 2009

    Erschienen in: SPIE Proceedings

  2. Sansonnens, L.; Strahm, B.; Derendinger, L.; Howling, A. A.; Hollenstein, Ch.; Ellert, Ch.; Schmitt, J. P. M.

    Measurements and consequences of nonuniform radio frequency plasma potential due to surface asymmetry in large area radio frequency capacitive reactors

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    American Vacuum Society, 2005

    Erschienen in: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films