• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Plasma silane concentration as a determining factor for the transition from amorphous to microcrystalline silicon in SiH4/H2discharges
  • Beteiligte: Strahm, B; Howling, A A; Sansonnens, L; Hollenstein, Ch
  • Erschienen: IOP Publishing, 2007
  • Erschienen in: Plasma Sources Science and Technology
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1088/0963-0252/16/1/011
  • ISSN: 0963-0252; 1361-6595
  • Schlagwörter: Condensed Matter Physics
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