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Medientyp: E-Artikel Titel: Plasma silane concentration as a determining factor for the transition from amorphous to microcrystalline silicon in SiH4/H2discharges Beteiligte: Strahm, B; Howling, A A; Sansonnens, L; Hollenstein, Ch Erschienen: IOP Publishing, 2007 Erschienen in: Plasma Sources Science and Technology Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1088/0963-0252/16/1/011 ISSN: 0963-0252; 1361-6595 Schlagwörter: Condensed Matter Physics Entstehung: Anmerkungen: