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  1. Bienholz, Stefan [VerfasserIn] ; Awakowicz, Peter [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Mussenbrock, Thomas [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

    Kapazitiv gekoppelte Mehrfrequenzplasmen zur Abscheidung keramischer und ferromagnetischer Schichten

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    Bochum: Ruhr-Universität Bochum, 2014

  2. Mohr, Sebastian [VerfasserIn] ; Czarnetzki, Uwe [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Brinkmann, Ralf Peter [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Fakultät für Physik und Astronomie

    Simulation und Modellierung von CCRF-Entladungen in molekularen Gasen

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    Bochum: Ruhr-Universität Bochum, 2014

  3. Christ-Koch, Sina [VerfasserIn]

    Profile der Plasmaparameter und Dichte negativer Wasserstoffionen mittels Laserdetachmentmessungen in HF-angeregten Ionenquellen

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  4. Zschoerper, Peer Nicolas [VerfasserIn]

    Oberflächenmodifizierung von Carbon Nanotubes mittels technischer Niederdruckplasmen

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    München: Verl. Dr. Hut, 2010 ; Online-Ausg., Stuttgart: Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart, 2010

  5. Möller, Ivonne [VerfasserIn]

    Studies on the electron energy distribution in CH4/O2 plasmas by means of tunable diode laser spectroscopy and a simple chemical model

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  6. Ramisch, Evelyn Christine [VerfasserIn] ; Stroth, Ulrich [AkademischeR BetreuerIn]

    Influence of the ion energy on generation and properties of thin barrier layers deposited in a microwave plasma process

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    Stuttgart: Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart, 2012