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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Investigation of ICP RF discharges by means of a Langmuir probe Beteiligte: Singh, Shailendra Vikram [Verfasser] Umfang: Online-Ressource Sprache: Englisch Identifikator: Schlagwörter: Elektrostatische Welle > Elektronenverteilung > Faraday-Käfig > Hochfrequenzplasma > Rogowski-Spannungsmesser > Online-Publikation Entstehung: Hochschulschrift: Bochum, Univ., Diss., 2005 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang