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Park Ridge, NJ: Noyes Publ., 1992
Erschienen in:Materials science and process technology series ; Electronics materials and process technology
Akins, Vaughn E.
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft]
;
Symposium on Automated Integrated Circuits Manufacturing 5 1989 Hollywood, Fla,
Electrochemical Society Electronics Division
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Boston [u.a.]: Kluwer Acad. Publ., c1995
Nemanich, Robert J.
[HerausgeberIn]
;
Materials Research Society,
Spring Symposium on Chemical Surface Preparation, Passivation and Cleaning for Semiconductor Growth and Processing 1992 San Francisco, Calif,
Symposium on Chemical Surface Preparation, Passivation and Cleaning for Semiconductor Growth and Processing 1992 San Francisco, Calif
Beaumont, Steven P.
[HerausgeberIn];
Sotomayor Torres, C. M.
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft]
;
North Atlantic Treaty Organization Scientific Affairs Division,
Advanced Research Workshop on Science and Engineering of One- and Zero-Dimensional Semiconductors 1989 Cádiz