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Medientyp: Buch Titel: Fundamentals of semiconductor processing technologies Enthält: Literaturangaben Beteiligte: El-Kareh, Badih [VerfasserIn]; Kareh, Badih el- [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Erschienen: Boston [u.a.]: Kluwer Acad. Publ., 1998 Ausgabe: 3. pr Umfang: XII, 599 S; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 0792395344 RVK-Notation: ZN 4100 : Allgemeines Schlagwörter: Halbleitertechnologie > Halbleiterwerkstoff Entstehung: Anmerkungen: Includes index
Bereichsbibliothek DrePunct – Freihand Signatur: ZN 4100 E41 Barcode: 10085891 Status: Benutzung nur im Haus, Versand per Fernleihe möglich