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  1. Diekmann, Leonard Frank [Verfasser:in]; Kassner, Alexander [Verfasser:in]; Dencker, Folke [Verfasser:in]; Wurz, Marc Christopher [Verfasser:in]

    Nonevaporable getter-MEMS for generating UHV conditions in small volumina

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    Hannover: Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, 2022 ; Hannover: Technische Informationsbibliothek (TIB), 2022

    Erschienen in: Journal of vacuum science & technology : JVST : B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena ; 40 (2022), Nr. 5, 054202

  2. Diekmann, Leonard Frank [Verfasser:in]; Kassner, Alexander [Verfasser:in]; Dencker, Folke [Verfasser:in]; Wurz, Marc Christopher [Verfasser:in]

    Nonevaporable getter-MEMS for generating UHV conditions in small volumina - [published Version]

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    New York, NY : AIP Publishing, 2022

    Erschienen in: Journal of vacuum science & technology : JVST : B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena 40 (2022), Nr. 5 ; Journal of vacuum science & technology : JVST : B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena