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Medientyp: E-Book; Sonderdruck Titel: Nonevaporable getter-MEMS for generating UHV conditions in small volumina Beteiligte: Diekmann, Leonard Frank [VerfasserIn]; Kassner, Alexander [VerfasserIn]; Dencker, Folke [VerfasserIn]; Wurz, Marc Christopher [VerfasserIn] Erschienen: Hannover: Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, 2022 Hannover: Technische Informationsbibliothek (TIB), 2022 Erschienen in: Journal of vacuum science & technology : JVST : B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena ; 40 (2022), Nr. 5, 054202 Umfang: 1 Online-Ressource Sprache: Englisch DOI: 10.15488/13734 Identifikator: Entstehung: Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang