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  2. Schäffel, Christoph [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Michael, Steffen [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Paris, Roman [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Frank, Astrid [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Zeike, Norbert [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Gastinger, Kay [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Kujawinska, Malgorzata [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Zeitner, U. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Beer, S. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Design of an interferometric test station for parallel inspection of MEMS

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    2011

    Erschienen in: Innovation in Mechanical Engineering - Shaping the Future (Veranstaltung : 2011 : Ilmenau): Innovation in mechanical engineering - shaping the future ; 2011

  19. Gastinger, Kay; Johnsen, Lars; Kujawinska, Malgorzata; Jozwik, Michal; Zeitner, Uwe; Dannberg, Peter; Albero, Jorge; Bargiel, Sylwester; Schaeffel, Christoph; Beer, Stephan; Moosburger, Rudolf; Lambelet, Patrick; Pizzi, Marco

    Next-generation test equipment for micro-production

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    SPIE, 2010

    Erschienen in: SPIE Proceedings (2010)