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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Integrated glass lenses fabrication for parallel interferometric inspection systems of MEMS and MOEMS Beteiligte: Albero, Jorge; Bargiel, Sylwester; Gorecki, Christophe; Gastinger, Kay Erschienen: SPIE, 2010 Erschienen in: SPIE Proceedings (2010) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.853907 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: