• Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht
  • Titel: Integrated glass lenses fabrication for parallel interferometric inspection systems of MEMS and MOEMS
  • Beteiligte: Albero, Jorge; Bargiel, Sylwester; Gorecki, Christophe; Gastinger, Kay
  • Erschienen: SPIE, 2010
  • Erschienen in: SPIE Proceedings (2010)
  • Umfang:
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1117/12.853907
  • ISSN: 0277-786X
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: