Zum Inhalt springen Itikawa, Yukikazu [VerfasserIn] Molecular processes in plasmas : collisions of charged particles with molecules Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Berlin; Heidelberg; New York: Springer, [2007] Erschienen in: Springer series on atomic, optical, and plasma physics ; 43 Nold, Michael [VerfasserIn] Modellierung eines Plasmaätzverfahrens am Beispiel der Ätzung einer Siliziumoberfläche durch ein Chlor-Argon-Plasma Bücher Online ansehen Schließen > Zugang https://d-nb.info/969936516/34 kostenfrei http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2004/1540/index.html Zeige weitere weniger zeigen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
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Nold, Michael [VerfasserIn] Modellierung eines Plasmaätzverfahrens am Beispiel der Ätzung einer Siliziumoberfläche durch ein Chlor-Argon-Plasma Bücher Online ansehen Schließen > Zugang https://d-nb.info/969936516/34 kostenfrei http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2004/1540/index.html Zeige weitere weniger zeigen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
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> Verfügbarkeit Skip to next facet Freihand verfügbar (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Sprache Skip to next facet Englisch (1) Wert ausschließen Deutsch (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Fachgebiet Skip to next facet Physik (1) Wert ausschließen Technik (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Person/Institution Skip to next facet Itikawa, Yukikazu (1) Wert ausschließen Nold, Michael (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Kollektion Skip to next facet Diss online (1) Wert ausschließen Verbunddaten SWB (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen