Zum Inhalt springen Wunderlich, Silja [VerfasserIn] ; Müller, Jörg [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Eich, Manfred [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Technische Universität Hamburg-Harburg Arbeitsbereich Halbleitertechnologie Untersuchungen zum CO2-Lasertempern von SiON-Dünnschichten für Anwendungen in der integrierten Optik - [Als Ms. gedr.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: VDI Verl., 1997 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 50000
Wunderlich, Silja [VerfasserIn] ; Müller, Jörg [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Eich, Manfred [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Technische Universität Hamburg-Harburg Arbeitsbereich Halbleitertechnologie Untersuchungen zum CO2-Lasertempern von SiON-Dünnschichten für Anwendungen in der integrierten Optik - [Als Ms. gedr.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: VDI Verl., 1997 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 50000
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> Verfügbarkeit Skip to next facet Freihand verfügbar (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Standort Skip to next facet Bereichsbibliothek DrePunct (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Fachgebiet Skip to next facet Physik (1) Wert ausschließen Technik (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Person/Institution Skip to next facet Eich, Manfred (1) Wert ausschließen Müller, Jörg (1) Wert ausschließen Technische Universität Hamburg-Harburg Arbeitsbereich Halbleitertechnologie (1) Wert ausschließen Wunderlich, Silja (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen