Zum Inhalt springen Glendinning, William B. [Herausgeber:in] Handbook of VLSI microlithography : principles, technology and applications Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Park Ridge, NJ: Noyes Publ., 1991 Erschienen in: Materials science and process technology series ; Electronic materials and process technology Helbert, John N. [Herausgeber:in] Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications - [2nd ed] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Park Ridge, NJ [u.a.]: Noyes Publ. [u.a.], c 2001 Erschienen in: Materials science and process technology series ; Electronic materials and process technology Bargon, Joachim [Herausgeber:in] ; International Symposium on Methods and Materials in Microelectronic Technology 1982 Neuenahr Methods and materials in microelectronic technology : [proc. of the Internat. Symp. on Methods and Materials in Microelectronic Technology,held Sept. 29 - Oct. 1, 1982 in Bad Neuenahr] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. New York, NY [u.a.]: Plenum, 1984 Erschienen in: IBM research symposia series
Glendinning, William B. [Herausgeber:in] Handbook of VLSI microlithography : principles, technology and applications Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Park Ridge, NJ: Noyes Publ., 1991 Erschienen in: Materials science and process technology series ; Electronic materials and process technology
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Helbert, John N. [Herausgeber:in] Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications - [2nd ed] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Park Ridge, NJ [u.a.]: Noyes Publ. [u.a.], c 2001 Erschienen in: Materials science and process technology series ; Electronic materials and process technology
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Bargon, Joachim [Herausgeber:in] ; International Symposium on Methods and Materials in Microelectronic Technology 1982 Neuenahr Methods and materials in microelectronic technology : [proc. of the Internat. Symp. on Methods and Materials in Microelectronic Technology,held Sept. 29 - Oct. 1, 1982 in Bad Neuenahr] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. New York, NY [u.a.]: Plenum, 1984 Erschienen in: IBM research symposia series
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> Verfügbarkeit Skip to next facet Freihand verfügbar (2) Wert ausschließen Magazinbestellung (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Standort Skip to next facet Bereichsbibliothek DrePunct (3) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Fachgebiet Skip to next facet Technik (3) Wert ausschließen Informatik (1) Wert ausschließen Physik (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Person/Institution Skip to next facet Bargon, Joachim (1) Wert ausschließen Glendinning, William B. (1) Wert ausschließen Helbert, John N. (1) Wert ausschließen International Symposium on Methods and Materials in Microelectronic Technology 1982 Neuenahr (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen