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Medientyp: Buch Titel: Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications Beteiligte: Helbert, John N. [Hrsg.] Erschienen: Park Ridge, NJ [u.a.]: Noyes Publ. [u.a.], c 2001 Erschienen in: Materials science and process technology series ; Electronic materials and process technology Ausgabe: 2nd ed Umfang: XXI, 1001 S; Ill., zahlr. graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 0815514441 RVK-Notation: ZN 4170 : Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) Schlagwörter: Lithografie > VLSI VLSI > Lithografie Entstehung: Anmerkungen: Includes bibliographical references and index
Bereichsbibliothek DrePunct – Freihand Signatur: ZN 4170 H474(2) Barcode: 31698498 Status: Ausleihbar