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  1. Ostermay, Ina [VerfasserIn] ; Bartha, Johann W. [AkademischeR BetreuerIn]; Osten, H. Jörg [AkademischeR BetreuerIn]

    Selektive Si1-xCx-Epitaxie für den Einsatz in der CMOS-Technologie

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    Dresden: Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden; Dresden: Technische Universität Dresden, 2013