Technische Universität Ilmenau (13)
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Ambacher, Oliver (11)
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Technische Universität Chemnitz (9)
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Schulz, Stefan E. (8)
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Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Fakultät für Angewandte Wissenschaften (6)
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Fakultät für Chemie und Biochemie (6)
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Fiederle, Michael (6)
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Hannappel, Thomas (6)
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INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien (6)
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Lang, Heinrich (6)
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Technische Universität Dresden (6)
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Universität Ulm (6)
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Veith, Michael (6)
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Devi, Anjana (5)
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Eberhard Karls Universität Tübingen (5)
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Hietschold, Michael (4)
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Krischok, Stefan (4)
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Mathur, Sanjay (4)
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Assim, Khaybar (3)
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Fiedler, Holger (3)
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Fischer, Roland A. (3)
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Friedrich-Schiller-Universität Jena (3)
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Geßner, Thomas (3)
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Goedel, Werner Andreas (3)
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Knapp, Marius (3)
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Kowalsky, Wolfgang (3)
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Langer, Julia (3)
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Lei, Yong (3)
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Müller, Jörg (3)
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Ritter, Uwe (3)
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Roder, Kristina (3)
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Rädlein, Edda (3)
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Schober, Andreas (3)
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Scholz, Ferdinand (3)
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Technische Universität Bergakademie Freiberg (3)
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Technische Universität Braunschweig (3)
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Technische Universität Hamburg-Harburg Arbeitsbereich Halbleitertechnologie (3)
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Tegenkamp, Christoph (3)
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Wächtler, Thomas (3)
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Adamczyk, Tobias Oliver (2)
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Adelung, Rainer (2)
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Albrecht, Manfred (2)
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Altmayer, Jessica (2)
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Bender, Michael (2)
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Benner, Frank (2)
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Cimalla, Volker (2)
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Davazoglou, Dimitris (2)
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Dill, Pauline (2)
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Dreiling, Ines (2)
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Ecke, Ramona (2)
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Engisch, Lutz (2)
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European Conference on Chemical Vapor Deposition 13 2001 Glifada (2)
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European Conference on Chemical Vapour Deposition 12 1999 Sitges (2)
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Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (2)
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Fritzsche, Ronny (2)
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Gao, Ziyao (2)
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Gebr. Schmid Maschinenfabrik GmbH & Co (2)
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Goedel, Werner A. (2)
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Gopalakrishnan, Selvi (2)
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Heel, Andre (2)
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Hermann, Sascha (2)
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Hillebrecht, Harald (2)
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Hitchman, Michael L. (2)
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Hu, Xiao (2)
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Huber, Florian (2)
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Jacobs, Heiko O. (2)
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Jones, Anthony C. (2)
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Keller, Martin (2)
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Kirs, Tatjana (2)
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Kneissl, Michael (2)
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Knohl, Stefan (2)
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Kodas, Toivo (2)
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Kolhep, Maximilian (2)
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Krüger, Anke (2)
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Ligl, Jana (2)
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Lorenz, Erik E. (2)
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Maus-Friedrichs, Wolfgang (2)
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Mertens, Michael (2)
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Militzer, Christian (2)
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Motaragheb Jafarpour, Saeed (2)
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Nandy, Manali (2)
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Paszuk, Agnieszka (2)
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Petersen, Christian (2)
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Pierson, Hugh O. (2)
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Prescher, Mario (2)
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Prost, Werner (2)
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Pácal, František (2)
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Rädlein, Edda (2)
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Rose, Martin (2)
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Stritzker, Bernd (2)
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Technische Universität Clausthal (2)
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Universitätsverlag Ilmenau (2)
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Waechtler, Thomas (2)
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Weyers, Markus (2)
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Wurlitzer, Lisa (2)
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Able, Andreas (1)
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Abylaikhan, Akerke (1)
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Ackermann, Johannes (1)
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Aixtron AG Aachen (1)
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Akhtar, Fatima (1)
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