SPIE (44)
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Khounsary, Ali M. (9)
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Lérondel, Gilles (9)
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Morawe, Christian (8)
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Cho, Yong-Hoon (7)
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Friedrich-Schiller-Universität Jena (6)
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Goto, Shunji (6)
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Assoufid, Lahsen (5)
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Ohashi, Haruhiko (5)
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Goldberg, Kenneth A. (4)
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Hudec, René (4)
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Pina, Ladislav (4)
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Taguchi, Atsushi (4)
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Asundi, Anand (3)
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Bakshi, Vivek (3)
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Kawata, Satoshi (3)
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Panning, Eric M. (3)
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Albert-Ludwigs-Universität Freiburg (2)
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Bajt, Saša (2)
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Felix, Nelson M. (2)
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Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (2)
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Itani, Toshiro (2)
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Juha, Libor (2)
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Lio, Anna (2)
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Mimura, Hidekazu (2)
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Naulleau, Patrick P. (2)
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Ronse, Kurt G. (2)
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Universität Hamburg (2)
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Advanced Mask Technology Center (1)
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Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics Veranstaltung 2016 San Diego, Calif (1)
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Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics Veranstaltung 2019 San Diego, Calif (1)
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Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics Veranstaltung 2020 Online (1)
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Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics Veranstaltung 2023 San Diego, Calif (1)
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Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics Veranstaltung 7. 2017 San Diego, Calif (1)
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Advances in X-Ray/EUV Optics and Components Veranstaltung 2017 San Diego, Calif (1)
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Advances in X-Ray/EUV Optics and Components Veranstaltung 2018 San Diego, Calif (1)
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Advances in X-Ray/EUV Optics and Components Veranstaltung 2019 San Diego, Calif (1)
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Advances in X-Ray/EUV Optics and Components Veranstaltung 2020 Online (1)
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Advances in X-Ray/EUV Optics and Components Veranstaltung 2021 San Diego, Calif.; Online (1)
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Advances in X-Ray/EUV Optics and Components Veranstaltung 2022 San Diego, Calif (1)
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Advances in X-Ray/EUV Optics and Components Veranstaltung 2023 San Diego, Calif (1)
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Allenstein, Frank (1)
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Asundi, Anand Krishna (1)
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Attwood, David T. (1)
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Bachau, Henri (1)
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Barkusky, F. (1)
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Bender, Markus (1)
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Braun, Stefan (1)
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Brocklesby, William S. (1)
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Brose, Sascha Manuel (1)
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Castex, Marie-Claude (1)
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Center for Nanotechnology Münster (Westf) (1)
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Centre national de la recherche scientifique (1)
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Champeaux, C. (1)
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Conference on "Advances in X-Ray/EUV Optics and Components" 2015 San Diego, Calif (1)
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Conference on Advances in X-Ray/EUV Optics and Components 2016 San Diego, Calif (1)
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Crespo López-Urrutia, José Ramon (1)
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Cunovic, Stefan (1)
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Damage to VUV, EUV, and X-Ray Optics Veranstaltung 2015 Prag (1)
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Damage to VUV, EUV, and X-ray optics Veranstaltung 6. 2017 Prag (1)
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Daneker, Vadim (1)
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Delaporte, Philippe (1)
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Drescher, Markus (1)
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Dromey, Brendan (1)
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EUV Conference 2015 San Jose, Calif (1)
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EUV and X-Ray Optics: Synergy between Laboratory and Space Veranstaltung 2015 Prag (1)
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EUV and X-Ray Optics: Synergy between Laboratory and Space Veranstaltung 2019 Prag (1)
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EUV and X-Ray Optics: Synergy between Laboratory and Space Veranstaltung 2023 Prag (1)
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EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space Veranstaltung 5. 2017 Prag (1)
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Ecke, Ramona (1)
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Eggeling, Christian (1)
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Erdmann, Andreas (1)
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Ertel, Dominik Pascal (1)
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Escher, Matthias (1)
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Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography Veranstaltung 10. 2019 San Jose, Calif (1)
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Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography Veranstaltung 2018 San Jose, Calif (1)
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Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography Veranstaltung 2020 San Jose, Calif (1)
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Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography Veranstaltung 2021 Online (1)
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Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography Veranstaltung 7. 2016 San Jose, Calif (1)
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Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography Veranstaltung 8. 2017 San Jose, Calif (1)
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Focus GmbH Hünstetten (1)
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Fogarassy, Eric (1)
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Frankreich Secrétariat Général de la Défense Nationale (1)
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Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik (1)
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Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (1)
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Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (1)
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Freiberger, Ralf (1)
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Gargini, Paolo A. (1)
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Gawlitza, Peter (1)
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General Meeting of the COST Action CM1204 "XUV/X-Ray Light and Fast Ions for Ultrafast Chemistry" 2. 2014 Danzig (1)
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Haase, Micha (1)
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Hendel, Stefan (1)
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Hilbert, Vinzenz (1)
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Hochschule Emden/Leer (1)
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Hoffmann, Andreas (1)
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International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2017 Monterey, Calif (1)
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International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2018 Monterey, Calif (1)
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International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2019 Monterey, Calif (1)
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International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2020 Online (1)
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International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2021 Online (1)
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