Schempp, Fabian
[Author]
;
Wilde, Jürgen
[Degree supervisor];
Wilde, Jürgen
[Other];
Zimmermann, André
[Other]
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Institut für Mikrosystemtechnik,
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Fakultät für Angewandte Wissenschaften