Skip to contents Peters, Dethard [Author] ; Müller, Jörg [Other]; Brinkmeyer, Ernst [Other] Technische Universität Hamburg-Harburg Arbeitsbereich Halbleitertechnologie Herstellung und Untersuchung von PECVD-Siliziumoxinitridschichten für die integrierte Optik - [Als Ms. gedr.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: VDI-Verl., 1991 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 180
Peters, Dethard [Author] ; Müller, Jörg [Other]; Brinkmeyer, Ernst [Other] Technische Universität Hamburg-Harburg Arbeitsbereich Halbleitertechnologie Herstellung und Untersuchung von PECVD-Siliziumoxinitridschichten für die integrierte Optik - [Als Ms. gedr.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: VDI-Verl., 1991 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 180
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