Media type: Book; Thesis Title: Herstellung und Untersuchung von PECVD-Siliziumoxinitridschichten für die integrierte Optik Other titles: Nebent.: PECVD-SiON für die integrierte Optik Contributor: Peters, Dethard [Author]; Müller, Jörg [Doktorvater]; Brinkmeyer, Ernst [Other] Corporation: Technische Universität Hamburg-Harburg, Arbeitsbereich Halbleitertechnologie imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1991 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 180 Issue: Als Ms. gedr. Extent: IX, 210 S.; Ill., graph. Darst; 21 cm Language: German ISBN: 318148010X Keywords: Lichtwellenleiter > Dünne Schicht > Siliciumoxinitride > PECVD-Verfahren Origination: University thesis: Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Arbeitsbereich Halbleitertechnologie, Diss., 1991 Footnote:
Departmental Library DrePunct – stack Shelf-mark: 0991 00901 001 Item ID: 10065096 Status: Loanable, place order > Ordering possible ‒ please log in