Media type: Book; Thesis Title: Der Stickstoffpartialdruck - eine Größe zur Prozeßkontrolle bei der Herstellung von TiN-Schichten mit Hilfe der PVD-Sputtertechnik Other titles: Nebent.: N2-Partialdruck beim TiN-Sputtern Contributor: Juling, Herbert [Author] Published: Düsseldorf: VDI-Verl., 1992 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 27000 Issue: Als Ms. gedr. Extent: V, 124 S.; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 3181470058 Keywords: Titannitrid > Hartstoff > Magnetronsputtern > Stickstoff > Partialdruck > Prozessregelung Origination: University thesis: Zugl.: Bremen, Univ., Diss. Footnote: Zugl.: Bremen, Univ., Diss
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 1705-270 Item ID: 30899728 Status: Loanable