Media type: Book Title: Vakuumbeschichtung / Hrsg.: Gerhard Kienel 4, Anwendungen : Teil 1. Vergleich der verwendeten Verfahren - elektrische Widerstandsschichten - supraleitende Schichten - dünne Schichten für Optik, Mikroelektronik, Optoelektronik, Mikromechanik - Solarzellen / Uwe Behringer ... Contributor: Behringer, Uwe [Other] Published: Düsseldorf: VDI-Verl., 1993 Published in: Vakuumbeschichtung / Hrsg.: Gerhard Kienel ... ; 4 Extent: XI, 383 S.; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 3184013146; 3540622748 RVK notation: UP 7550 : Herstellung dünner Schichten incl. Epitaxie-Schichten, Dünnschichttechnik Origination: Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 7680 V134-4,1 Item ID: 10360395 Status: Loanable