Media type: Book; Thesis Title: Oberflächenqualität und Randzonenbeeinflussung beim Planschleifen einkristalliner Siliciumscheiben Contributor: Holz, Bernhard Frank [Author] Published: München [u.a.]: Hanser, 1994 Published in: Produktionstechnik Berlin ; 143 Extent: III, 184 S.; graph. Darst., Ill Language: German ISBN: 3446178015 Keywords: Wafer > Silicium > Flachschleifen > Oberflächenschaden > Mikrostruktur > Randschicht Origination: University thesis: Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1994 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 1758-143 Item ID: 30075794 Status: Loanable