Media type: Book Title: Vakuumbeschichtung / Hrsg.: Gerhard Kienel 2, Verfahren und Anlagen / Uwe Behringer ... Contributor: Behringer, Uwe [Other] Published: Düsseldorf: VDI-Verl., 1995 Published in: Vakuumbeschichtung / Hrsg.: Gerhard Kienel ... ; 2 Extent: XIII, 481 S.; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 318401312X; 3540622667 RVK notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie UP 7550 : Herstellung dünner Schichten incl. Epitaxie-Schichten, Dünnschichttechnik Origination: Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 7680 V134-2 Item ID: 10360381 Status: Loanable