Media type: Book Title: Vakuumbeschichtung / Hrsg.: Gerhard Kienel 1, Plasmaphysik, Plasmadiagnostik, Analytik / Hans Frieder Döbele ... Contributor: Döbele, Hans F. [Other] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1995 Published in: Vakuumbeschichtung / Hrsg.: Gerhard Kienel ... ; 1 Extent: XI, 337 S.; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 3184013111; 3540622659 RVK notation: UP 7550 : Herstellung dünner Schichten incl. Epitaxie-Schichten, Dünnschichttechnik Keywords: Vakuumbeschichten Plasmaphysik Plasmadiagnostik Oberflächenanalyse > Dünne Schicht Origination: Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 7680 V134-1 Item ID: 10360382 Status: Loanable
Bestand der TU Dresden Shelf-mark: 1997 8 020207 003 Item ID: XMOM1454801 Status: Verfügbarkeit bitte in Inst Strukturphysik erfragen.