Media type: Book; Thesis Title: Niederdruckplasma-Synthese dünner B-C-N-Schichten und deren Charakterisierung Contributor: Loeffler, Jonathan [Author] imprint: Stuttgart: Max-Planck-Institut für Metallforschung, 1995 Published in: Max-Planck-Institut für Metallforschung: Bericht ; 5 Extent: III, 140 S.; Ill., graph. Darst Language: German Keywords: Borcarbonitride > Dünne Schicht > Niederdruckplasma Origination: University thesis: Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1995 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 1610-5 Item ID: 30557168 Status: Loanable